ETH是指在显影后,膜的厚度为0时,所需的最低曝光量。换句话说,它是在光刻过程中,用于达到膜厚为0的最小曝光量。EOP是指在光刻胶上实现图形的1:1复制所需的曝光量。简单来说,它是用于确保光刻胶能够精确复制出原始图形的曝光量。希望这样的解释能更好地帮助你理解!